王桂鹏、黄豫兴、曲绍芬、高光伟、谢元华、刘坤、巴德纯
东北大学机械工程与自动化学院,辽宁 沈阳110819
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教育部中央高校基本科研业务费项目教育部中央高校基本科研业务费项目沈阳市重大科技创新研发计划
N2003010N2103027Y19-1-015
2022
10.13385/j.cnki.vacuum.2022.05.11