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Zr/ZrVFe多孔吸气材料的表面改性研究

Study on Surface Modification of Zr/ZrVFe Porous Getter Material

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采用磁控溅射技术在Zr/ZrVFe多孔吸气剂表面制备不同厚度的Ni膜,研究了Ni膜对吸气剂吸气性能的影响,利用SEM和EDS技术分析了吸气剂表面形貌及元素组成,通过定容法研究了吸气剂室温吸气性能.结果表明:吸气剂激活过程中,H2O、CO2和CO/N2在350℃以下就已脱附;当激活温度达到350～450℃时,脱附气体只剩H2和CH4,CH4为吸气剂脱附产生的H2与四极质谱计灯丝发生反应所得;制备的Ni膜均匀覆盖在吸气剂表面,不会改变吸气剂的表面形貌;进行Ni膜表面改性后,吸气剂的吸气容量明显增大,且镀膜2h所得吸气剂的平衡压最小,吸附性能最好.

孙雯君、冯欣格、宋伊、裴晓强、吴成耀

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兰州大学物理科学与技术学院,甘肃 兰州 730000

兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,甘肃 兰州 730000

Zr/ZrVFe 多孔吸气材料 表面改性 Ni膜

2022

10.13385/j.cnki.vacuum.2022.06.03

真空
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所

真空

CSTPCD
影响因子：0.926
ISSN：1002-0322
年,卷(期)：2022.59(6)
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