真空度测量仪动态校准系统

Development of Dynamic Calibration System for Special Vacuum Tester

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中文摘要：真空度测试仪可在不拆卸真空开关管的前提下,利用离子流与气体压强的比例关系来测量开关管内部的真空度.真空度测试仪在使用前,需要针对不同管型进行标定校准,本文讨论了其动态校准系统的设计和校准方法,包括磁钢工装的设计、强磁场的防护,以及特殊升降机构的设计等.校准系统由校准室、超高真空系统、磁场线圈、加热装置、升降系统和真空度测试仪等组成.该校准系统利用动态对比法,在抽气和充气动态平衡时,获得标准真空规的真空度和被测真空开关管的离子流,形成校准对比曲线,实现了快速、高精度和宽量程的校准测试.

作者：

卢少波、张吉峰、韩永超、杨坤、唐榕

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作者单位：

北京真空电子科技有限公司,北京 100015

关键词：

真空开关管真空度真空度测试仪动态校准

出版年：

2022

DOI：

10.13385/j.cnki.vacuum.2022.06.10

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