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物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究

Research of Quick Measurement for PVD TBCs Thickness in Industrial Production Using Ball Crater Tester

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为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究.首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和ZrO2·Y2O3(YSZ)涂层,研究了研磨液粒径、研磨时间等参数与磨坑直径的关系,随后根据试验结果对高温合金试片涂覆的NiCrAlYSi/YSZ热障涂层使用球坑测厚法进行了厚度测量,并与金相测厚法结果进行了对比.结果表明:NiCrAlYSi涂层和YSZ涂层磨坑直径与研磨时间均满足抛物线增加关系;相同条件下,所用研磨液粒径为5μm和10μm时获得的磨坑直径相当,均比1μm时的大;针对同一涂层,球坑测厚法与金相测厚法测量结果吻合度高,误差在6％以内.

邓仲华、常振东、徐雷、胡江玮、蔡妍、牟仁德

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热障涂层 物理气相沉积 涂层厚度 球坑仪

国家科技重大专项

J2019-VI-0002-0115

2022

10.13385/j.cnki.vacuum.2022.06.13

真空
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所

真空

CSTPCD
影响因子：0.926
ISSN：1002-0322
年,卷(期)：2022.59(6)
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