真空2023,Vol.60Issue(6) :71-77.DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.2023.06.12

低比功率宽工作能力的螺杆真空泵设计与试验

Design and Test of Screw Vacuum Pump with Low Specific Power And Wide Working Capacity

巫修海 马云芳 陈海垚
真空2023,Vol.60Issue(6) :71-77.DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.2023.06.12

低比功率宽工作能力的螺杆真空泵设计与试验

Design and Test of Screw Vacuum Pump with Low Specific Power And Wide Working Capacity

巫修海 1马云芳 2陈海垚3
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作者信息

  • 1. 台州职业技术学院 机电工程学院,浙江 台州 318000
  • 2. 台州职业技术学院 信息技术工程学院,浙江 台州 318000
  • 3. 台州市星光真空设备制造有限公司,浙江 台州 318012
  • 折叠

摘要

为开发能高效适应 0.1~100kPa 宽工作压力范围,且能兼顾预期极限真空工艺工况的螺杆真空泵,设计了分段式渐进变化螺距螺杆.其第一部分导程由小到大变化,位于吸气端,从第二部分开始导程由大到小渐进变化,该构造确保了螺杆良好的动平衡性,可保证齿面结构完整;前两级导程决定了螺杆真空泵的吸气量,相邻导程比率决定了压缩能力;末端导程螺距变化小,螺杆齿宽大,保证了螺杆的加工性能.试验证明采用分段式渐变螺杆转子的螺杆真空泵,在整个工作压力区域都能保持较大的抽速,并且可依据工作预期优化螺距参数,极大降低了设定工作压力区域的比功率,从而提高抽气效率,大幅降低驱动功率,使泵运行效果良好.

关键词

螺杆真空泵/比功率/自平衡转子/内体积压缩比

Key words

screw vacuum pump/specific power/self-balancing screw rotor/inner volume ratio

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基金项目

浙江省台州市科技计划(21gya36)

出版年

2023
真空
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所

真空

CSTPCD
影响因子:0.926
ISSN:1002-0322
参考文献量7
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