真空科学与技术学报2000，Vol.20　Issue(5) ：355.

一种新型的SiGe超高真空化学气相沉积系统

罗广礼 陈培毅 林惠旺
真空科学与技术学报2000，Vol.20　Issue(5) ：355.
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一种新型的SiGe超高真空化学气相沉积系统

罗广礼 陈培毅 林惠旺
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出版年

2000
真空科学与技术学报
中国真空学会

真空科学与技术学报

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.761
ISSN：1672-7126
被引量6
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