首页|氧分压对TiO2薄膜微观结构与光吸收性能的影响

氧分压对TiO2薄膜微观结构与光吸收性能的影响

Effect of oxygen partial pressure on microstructure and absorption characteristics of TiO2 thin films

扫码查看
原文链接
  • 国家科技期刊平台
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普
采用直流磁控溅射法在不同氧分压下制备TiO2薄膜;研究氧分压对TiO2薄膜的表面形貌、晶体结构、化学组分及光吸收性能的影响.研究结果表明:Ti在所有样品中均以+4价态存在;随着氧分压的增大,TiO2薄膜颗粒逐渐变大,薄膜的结晶质量随着氧分压的增大逐渐提高;在吸收光谱中,300 nm 附近的紫外吸收峰随着氧分压的增大而减弱,在330～465 nm 范围内出现1 个吸收谷,且该吸收谷随着氧分压的增大而减小,当氧分压达到0.8 Pa时,吸收谷基本消失.

杨兵初、高飞、刘晓艳、张丽

展开 >

中南大学物理科学与技术学院,湖南长沙,410083

TiO2薄膜 氧分压 +4价钛 吸收特性

国家自然科学基金

60571043

2008

中南大学学报(自然科学版)
中南大学

中南大学学报(自然科学版)

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：0.938
ISSN：1672-7207
年,卷(期)：2008.39(1)
  • 2
  • 6