张永龙、安跃军、张志恒、王光玉
沈阳工业大学电气工程学院,辽宁沈阳 110870
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司真空干泵事业部,辽宁沈阳110179
同步控制 屏蔽电机 偏差耦合 虚拟电机 主从控制 位置补偿 模式切换
国家重大科技专项项目
2017ZX02201005-0025
2020