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中国高端真空泵驱动电机及控制技术的现状和发展

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真空泵作为真空获得的重要设备,在电子芯片、大规模集成电路、精细化工、生物制药、光伏产业等领域受到了广泛关注及应用,其性能指标很大程度取决于驱动电机及其控制技术.介绍了真空泵驱动电机的基本种类与工作原理,总结了共性规律和个性特点,对其拓扑结构、冷却方式和智能控制等关键技术进行综述,分析了真空泵驱动电机在特殊工况条件下的控制策略问题.最后,对真空泵驱动电机及其控制系统的主要研究方向进行了展望.
Present Situation and Development of Drive Motor and Control Technology for High-End Vacuum Pump in China

邓文宇、齐丽君、王光玉、孔祥玲、毕德龙、李明、安跃军

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沈阳中北通磁科技股份有限公司技术中心,辽宁沈阳 110159

中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司真空干泵事业部,辽宁沈阳 110168

沈阳工业大学电气工程学院,辽宁沈阳 110870

特种电机 高端装备 真空泵 电驱系统 控制系统

国家科技重大专项项目辽宁省重大科技专项项目

2017ZX02201005-0022019JH1/10100016

2020

10.12177/emca.2020.074

电机与控制应用
上海电器科学研究所（集团）有限公司

电机与控制应用

CSTPCD
影响因子：0.411
ISSN：1673-6540
年,卷(期)：2020.47(7)
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