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亚微米级工业高精度激光位移传感器设计与实现

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设计了一种基于激光三角法的高精度位移传感器系统,集成了数据采集、处理和显示功能.系统采用STM32微控制器作为控制模块,实现独立的数据采集和处理.设计了光路,并开发了用于光斑中心定位和距离测量的算法.传感器能够实时显示测量结果,确保高精度测量.实验结果表明,该传感器在0到100毫米的范围内能够准确测量位移,分辨率达到了亚微米级,约为0.5微米.传感器的重复精度在0.1微米以内,具有高度的一致性和可靠性.在工业应用中对不同工件进行了测量,与传统接触式传感器相比,激光位移传感器的测量误差在0.5微米以内,并且在振动、灰尘和湿气等影响环境中表现出更好的稳定性,为工业检测领域提供了可靠的解决方案.
Design and Implementation of Sub-Micrometer High-Precision Laser Displacement Sensor

孙继红、王廷军、陈腾飞

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海装武汉局驻郑州地区军事代表室,河南 郑州 450000

中国船舶集团有限公司,河南 郑州 450000

位移传感器 光机设计 硬件设计 软件设计

2024

10.3969/j.issn.1009-0134.2024.07.026

制造业自动化
北京机械工业自动化研究所

制造业自动化

CSTPCD
影响因子：0.482
ISSN：1009-0134
年,卷(期)：2024.46(7)
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