Экстремальное утонение кремниевых пластин и формирование нано-TSV для 3D гетерогенной интеграции

扫码查看

原文链接

外文标题：Экстремальное утонение кремниевых пластин и формирование нано-TSV для 3D гетерогенной интеграции

外文关键词：

кремниевая пластинаутонениеTSV

作者：

Д. Суханов

展开 >

作者单位：

ООО «Остек-ЭК», заместитель технического директора

出版年：

2025

DOI：

Электроника: Наука, технология, бизнес

ISSN：1992-4178

年,卷(期)：2025.(2)