Современные методы удаления загрязнений с подложек в микроэлектронике

扫码查看

原文链接

外文标题：Современные методы удаления загрязнений с подложек в микроэлектронике

外文关键词：

химическая очисткасухие методы очисткиподложкаотжиггазовое травлениеплазменная очисткаплазмохимическое травление

作者：

В. Леляев

展开 >

作者单位：

Компания «Глобал Микроэлектроника», руководитель направления

出版年：

2025

DOI：

Электроника: Наука, технология, бизнес

ISSN：1992-4178

年,卷(期)：2025.(1)