декапсуляция полупроводниковых приборовхимическое травлениемеханическое воздействиемикроволновая плазмалазер
П. Варламов
Компания «Глобал Микроэлектроника», ведущий инженер
2025
10.22184/1992-4178.2025.242.1.70.74