ЗАВИСИМОСТЬ ЭЛЕМЕНТНОГО СОСТАВА ПЛЕНОК A1N ОТ СООТНОШЕНИЯ АРГОНА И АЗОТА В ПОТОКЕ ПЛАЗМООБРАЗУЮЩЕГО ГАЗА ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ МИШЕНИ ИЗ АЛЮМИНИЯ

扫码查看

原文链接

外文关键词：

пленки нитрида алюминиямагнетронное распылениеэлементный составстехиометриясоотношение потоков газов

作者：

Б.Т. Байсова、Л.В. Баранова、В.И. Струнин

展开 >

作者单位：

Институт радиофизики и физической электроники Омского научного центра СО РАН, Омск, ОмГУ им. Ф.М. Достоевского, Омск

出版年：

2024

Вестник Казанского Государственного технического университета им. А. Н. Туполева

ISSN：2078-6255

年,卷(期)：2024.(3)