атомно-силовая микроскопияпьезомодульмагнетронное формированиемикроэлектронный резонаторнитрид алюминиятонкие пленки
В.И. Струнин、Л.В. Баранова、Н.А. Давлеткильдеев、А.Ю. Куклев、Н.А. Чириков
ИРФЭ ОНЦ СО РАН, Омск||ОмГУ имени Ф.М. Достоевского, Омск
ОНЦ СО РАН, Омск||ОмГУ имени Ф.М. Достоевского, Омск
ИРФЭ ОНЦ СО РАН, Омск||ОмГУ им. Ф.М. Достоевского, Омск
ИРФЭ ОНЦ СО РАН, Омск||АО «ОНИИП», Омск
2024
NETL
NSTL
