ионное легированиеарсенид галлияпротоныионы серынанокластеруглеродное беспористое покрытие.
И. В. Родионов、И. В. Перинская、В. В. Перинский
Саратовский государственный технический университет имени Ю. А. Гагарина, 410054 Саратов, ул. Политехническая, 77
2022
10.30791/0015-3214-2022-2-5-12