сплав AK5M2напыление пленки Tiэлектронно-пучковая обработкапредел прочностипредел текучестипериод кристаллической решетки
Ю. А. ШЛЯРОВА、Д. В. ЗАГУЛЯЕВ、Ю. Ф. ИВАНОВ、В. Е. ГРОМОВ、А. А. СЕРЕБРЯКОВА
Сибирский государственный индустриальный университет
Институт сильноточной электроники СО РАН
2022
10.30906/mitom.2022.5.30-34