Физико-технические свойства пленки, полученной из анилина плазменным осаждением при атмосферном давлении

扫码查看

原文链接

外文标题：Физико-технические свойства пленки, полученной из анилина плазменным осаждением при атмосферном давлении

外文关键词：

барьерный разряд атмосферного давленияуглеродные частицыпроводимость

作者：

М. П. Данилаев、И. Р. Вахитов、С. В. Дробышев

展开 >

作者单位：

Казанский национальный исследовательский технический университет гаг. А. Н. Туполева — КАИ, 420111 Казань, ул. К. Маркса, 10

Казанский (Приволжский) федеральный университет, 420008 Казань, ул. Кремлевская, 18

Институт физики. Центр квантовых технологий, 420008 Казань, ул. Кремлевская, 18

出版年：

2022

DOI：

Физикаи химия обработки материалов

ISSN：0015-3214

年,卷(期)：2022.(1)