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Silicon carbide deposition in beam-plasma discharge
Silicon carbide deposition in beam-plasma discharge
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外文标题：
Silicon carbide deposition in beam-plasma discharge
外文关键词：
碳化硅
沉积
束等离子体
排放
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作者：
I.V.Blinkov、S.V.Muraviyov
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出版年：
1999
Физикаи химия обработки материалов
Физикаи химия обработки материалов
ISSN：
0015-3214
年,卷(期)：
1999.
(4)
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