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非晶質Ge薄膜のMg誘起横方向成長におけるMg拡散量の評価
非晶質Ge薄膜のMg誘起横方向成長におけるMg拡散量の評価
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外文关键词：
ゲルマニウム
固相成長
金属誘起固相成長
拡散濃度
多段階熱処理
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作者：
森本敦己、阿部陸斗、平井杏奈、平井杜和、高倉健一郎、角田功
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作者单位：
熊本高等専門学校
出版年：
2022
電子情報通信学会技術研究報告
電子情報通信学会技術研究報告
ISSN：
0913-5685
年,卷(期)：
2022.
122
(8)
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