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光学干渉非接触温度測定法（OICT）によるシリコンウェハ内部の過渡的熱拡散過程の三次元イメージング
光学干渉非接触温度測定法（OICT）によるシリコンウェハ内部の過渡的熱拡散過程の三次元イメージング
光学干渉非接触温度測定法（OICT）によるシリコンウェハ内部の過渡的熱拡散過程の三次元イメージング
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外文关键词：
三次元イメージング
シリコン
温度測定
急速熱処理
自己発熱
熱暴走
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作者：
松口康太郎、藤本渓也、Jiawen Yu、佐藤拓磨、花房宏明、東清一郎
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作者单位：
広島大学先進理工系科学研究科
出版年：
2022
電子情報通信学会技術研究報告
電子情報通信学会技術研究報告
ISSN：
0913-5685
年,卷(期)：
2022.
122
(8)
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