硅微陀螺仪的芯片级温控实验研究

he Experiment Research of On-chip Temperature Control of the Silicon Micro-gyroscope

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中文摘要：研制了芯片级温控硅微陀螺芯片,设计芯片级温控电路和陀螺测控电路，并对芯片级温控电路进行了仿真，仿真结果表明温度系统在4秒内达到了稳定。对加工出的芯片级温控陀螺芯片进行了真空封装，研制了芯片级温控硅微陀螺样机。对芯片级温控陀螺样机进行了实验研究，实验结果表明陀螺样机标度因数温度系数由533.7 ppm/℃减小到241.6 ppm/℃，陀螺样机零偏温度系数由45.2°/h /℃减小到13.7°/h /℃。可见通过芯片级温控技术，明显优化了陀螺样机的温度特性。

外文关键词：

silicon micro-gyroscopeon-chip temperature controltemperature coefficient of zero bias

作者：

曹慧亮、徐露、杨波

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学科分类：

电子技术、通信技术(微电子学、集成电路)

电子技术、通信技术(半导体技术)

电子技术、通信技术(电子电路)

关键词：

硅微陀螺仪芯片级温控零偏温度系数

首发时间：2011-12-31