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期刊信息/Journal information
江苏海洋大学学报（自然科学版）
江苏海洋大学学报（自然科学版）

张锐戟

季刊

1672-6685

xuebao@hhit.edu.cn

0518-5895231；85895234

222005

江苏省连云港市苍梧路59号

江苏海洋大学学报（自然科学版）/Journal Journal of Huaihai Institute of Technology(Natural Sciences Edition)
查看更多>>本刊是由江苏省教育厅主管、淮海工学院主办的自然科学(包括技术科学)综合性学术性刊物,创刊于1985年,中文季刊,大16开,面向国内外公开发行。主要刊登淮海工学院广大教师以及省内外、国内外有关专家、学者较高水平的学术科研成果,内容包括基础科学、机械工程、计算机与电子工程、化学工程、食品工程、土木工程、空间信息科学及海洋生物技术工程以及其它相关学科,以应用技术研究开发为目标,突出创造性、学术性,求新、求实、求精,着力塑造期刊品牌特色。本刊编辑委员会由省内外的知名专家、教授和淮海工学院10多个系、部的教授、副教授或博士组成,负责确定学报的办刊宗旨及审定论文成果的学术质量。编委会主任委员由淮海工学院党委书记刘健同志担任,并特聘中国工程院院士、原南京理工大学校长李鸿志教授担任名誉主任委员。
正式出版
收录年代

    基于SSA-GRNN的铜CMP抛光液抛光速率预测

    栾晓东张拓穆成银
    86-92页
    查看更多>>摘要：铜化学机械抛光(CMP)是集成电路制造的关键步骤之一,其中铜抛光速率是衡量抛光液性能的关键指标.在CMP过程中,由于铜抛光液中各组分与铜之间的化学反应复杂,需要大量的数据实验来实现可调的抛光速率.为提高铜 CMP 抛光速率预测的准确性,利用麻雀搜索算法对广义回归神经网络的平滑因子进行优化,提出了一种基于麻雀搜索算法的广义回归神经网络(SSA-GRNN)铜CMP抛光液抛光速率预测模型.首先,在MATLAB 中建立 SSA-GRNN网络模型,然后输入抛光液各组分数据,预测在不同组分下抛光液的抛光速率,最后将SSA-GRNN模型的预测结果与BP神经网络模型(BP-NCABC)的预测结果对比.结果表明,SSA-GRNN模型在训练集上的平均绝对百分比误差(MAPE)比BP-NCABC模型降低 4.82 百分点,在测试集上的MAPE 比BP-NCABC模型降低 1.78 百分点;SSA-GRNN模型在训练集上的最优预测精度比 BP-NCABC 模型提高 0.09 百分点,在测试集上的最优预测精度比BP-NCABC模型提高 0.32 百分点.上述研究结果表明,在CMP抛光速率的预测上SSA-GRNN模型比BP-NCABC模型的准确性更高,这为指导CMP实验、提升实验效率、降低研发成本和优化抛光液组分提供了一种可选的模型.

    化学机械抛光抛光液广义回归神经网络麻雀搜索算法

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    基于气体黏度锂离子电池热失控在线探测实验验证

    刘函如陈勇赵兰明曹东旭...
    93-98页
    查看更多>>摘要：根据泊肃叶定律基本原理,提出基于气体黏度变化的锂离子电池热失控实时在线探测方法并开展实验验证.研究构建外部加热条件下锂离子电池热失控气体探测试验平台,监测并记录锂离子电池热失控典型过程,获取外部加热条件下电池热失控外表面温度变化.利用气体黏度测量系统测量采集热失控释放气体压差响应,60%SOC 和 20%SOC 电池试验结果均表明,在锂离子电池热失控初期有气体释放时,无论气体是否发生燃烧,都可以利用混合气体黏度变化这一特征量监测其组分变化,从而实现对电池热失控行为在线监测.相关试验结果验证了将气体黏度这一特征参量用于锂离子电池火灾早期探测与预警的可行性.

    锂离子电池热失控气体黏度实时探测压差响应

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