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科技展望
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谭拓

月刊

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科技展望/Journal keji zhanwang
查看更多>>《科技展望》创办本刊旨在跟踪中外高新技术前沿，促进高新科技产业化发展。为了在全社会营造一个促进科技创新、加强科技交流的学术环境，给各行业、各学科的广大科技工作者搭建一个活跃学术思想，为科技创新、经济发展与社会进步谏言献策、发表学术论文的平台.
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    叠片式金属化聚酯膜电容器小型化开发小结

    李兰
    59-60页
    查看更多>>摘要：采用更薄的金属化聚酯膜材料作为介质和电极,采用更加优化的制作工艺,设计出更小尺寸的叠片式金属化聚酯膜电容器系列产品,各规格产品比原尺寸小一个等级,同时扩展了产品系列的范围,可提供更大容量的金属化聚酯膜电容器产品.

    小型化叠片式金属化聚酯膜电容器耐电压

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    金属硬掩膜一体化刻蚀残留缺陷的优化

    任昱昂开渠江旻
    61-63页
    查看更多>>摘要：随着超大规模集成电路(VLSI)的特征尺寸不断缩小,为降低接触电阻(RC)延迟的影响,后段集成普遍采用低介电介质材料(Low-k材料)双大马士革铜互连工艺.在诸多的双大马士革结构刻蚀工艺中,金属硬掩膜一体化刻蚀工艺是迄今为止最为先进的工艺.随着半导体工艺不断发展和特征线宽不断收缩,缺陷问题所带来的挑战越来越突出.本文着重就55nm金属硬掩膜一体化刻蚀工艺存在的刻蚀残留问题展开课题研究并提出改善方案,以期有效地改善刻蚀残留缺陷问题.

    大马士革铜互连工艺金属硬掩膜一体化刻蚀工艺刻蚀残留缺陷

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    热处理对6063铝合金组织和力学性能的影响

    马旭袁柱桐刘艳辉
    64-65页
    查看更多>>摘要：通过OM、XRD、TEM、SEM和电子拉力试验机等,研究了固溶和时效处理对6063铝合金显微组织和力学性能的影响.结果表明:6063铝合金铸态主要由过饱和α-Al基体、β-Al9Fe2Si2和α-Al12Fe3Si相组成,经固溶处理后大部分枝晶溶入铝基体,只有少量β-Al9Fe2Si2向α-Al12Fe3Si转变形成未溶相,再经过时效处理后Mg2Si相在晶界附近再次析出,形态转变为颗粒状.合金在不同状态下的室温拉伸强度分别为:铸态189.3MPa、固溶态201.4MPa和时效态251.1MPa.

    热处理6063铝合金显微组织力学性能

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    论循环流化床锅炉水冷壁防磨

    鲁兵
    66-67页
    查看更多>>摘要：循环流化床锅炉水冷壁磨损是循环流化床锅炉正常运行三大威胁之一,在很长时间内成为影响循环流化床锅炉推广应用的主要障碍,循环流化床锅炉水冷壁磨损问题是行业中的一个难题,水冷壁泄漏、爆管事故占锅炉事故的50%以上.本文针对锅炉使用过程中水冷壁的磨损问题进行简要的论述,并提出使用软着陆的形式改造水冷壁以使问题得到解决,通过实际的改造,效果显著.

    循环流化床锅炉水冷壁防磨喷涂

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    刻蚀腔体表面态对硅栅尺寸的影响和调节方式

    唐在峰吴智勇任昱
    68-69,73页
    查看更多>>摘要：半导体制造技术中等离子刻蚀工艺是电路图形最终形成的关键步骤,也被称为半导体制作工艺中的雕刻艺术,刻蚀腔体则相当于雕刻工具,随着使用时间的增加,必然导致刻蚀腔体内部表面态由于长时间的刻蚀发生变化,这种变化对等离子刻蚀工艺造成很大的影响,直接导致电路图形横向关键尺寸和纵向形貌的改变.在微电子学中,特征尺寸通常指集成电路中半导体器件的最小尺寸,如MOSE管的栅极关键尺寸,硅栅关键尺寸就是特征尺寸,它是衡量集成电路设计和制造工艺水平的重要参数,但是特征尺寸越小,受到刻蚀腔体表面态变化的影响越大,通过对刻蚀腔体表面态的分析,调节等离子刻蚀工艺,减少硅栅关键尺寸的标准偏差,降低由于硅栅关键尺寸的变化而降低良率.

    多晶硅栅干法刻蚀刻蚀腔体表面态硬掩模刻蚀

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    浮空器囊体材料疲劳模型和寿命预测研究进展

    方坦
    70-71,73页
    查看更多>>摘要：本文尝试综述纤维增强层压复合材料的疲劳模型和寿命预测方面研究工作,为系留气球囊体材料疲劳和寿命预测方面的研究提供借鉴.这篇综述大体上可以总结为两个部分:(1)复合材料破坏机制;(2)复合材料疲劳模型和寿命预测.这篇综述将会从复合材料破坏机制的因素讨论开始.随后这篇文章将会对复合材料疲劳模型和寿命预测进行叙述.最后,将总结和讨论复合材料疲劳和寿命预测的模型和方法.

    浮空器囊体材料层压材料寿命预测疲劳

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    机械设备齿轮故障诊断中应用振动诊断的分析探究

    尤淼清钱志良
    72-73页
    查看更多>>摘要：机械设备齿轮故障严重影响到机械设备效能实际发挥.机械设备出现齿轮故障之后,通常都会表现出噪声与振动明显增加,但较难从表面对其故障进行准确判断.从振动诊断在机械设备齿轮故障诊断中的应用优势分析入手,本文重点分析了机械设备齿轮故障振动诊断方法,主要有振动时域分析法、振动频域直接分析法、振动频域二次分析法等.

    机械设备齿轮故障诊断振动诊断应用分析

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    故障树理论在液压系统故障诊断中的应用

    夏宁
    74,76页
    查看更多>>摘要：液压系统是众多机械装置的重要组成部分,其故障发生率较高.传统的故障诊断方法或者构建模型困难或者所需数据难以采集,以模糊故障树理论为基础对故障树理论在液压系统故障诊断模型建立过程中的具体应用进行了研究,阐述了液压系统故障树模型建立与实现的整个过程,可以有效的为故障树理论在液压故障诊断系统中的应用和推广提供技术支持.

    模糊理论故障树液压系统模型构建

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    离子交换法在小型地下水厂硬度去除中的应用

    张圆柯乐
    75-76页
    查看更多>>摘要：以华南石灰岩地区小型地下水厂LH水厂的实际运行为例,详细介绍了离子交换法在小型地下水厂硬度去除中的应用,离子交换法软水处理技术具有工艺成熟、出水水质稳定、初期投资成本低的优势,在小型地下水厂硬度去除中有一定的应用价值.

    离子交换水厂软化

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    民用飞机操纵面突风保护装置的设计及适航符合性研究

    张华梅
    77,79页
    查看更多>>摘要：为防止飞机停放时操纵面及与之相连的操纵系统因受突风冲击遭受损坏,民用飞机常采用突风保护装置进行保护.本文从设计依据和适航要求等角度出发,对某型水陆两栖飞机突风保护装置的设计及其适航符合性进行研究,为我国民用飞机突风保护装置设计提供参考.

    水陆两栖飞机突风保护装置适航符合性

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