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期刊信息/Journal information
实验流体力学
中国空气动力学会
实验流体力学

中国空气动力学会

乐嘉陵

双月刊

1672-9897

syltlx@163.com

0816-2463142

621000

四川绵阳211信箱

实验流体力学/Journal Journal of Experiments in Fluid MechanicsCSCD北大核心CSTPCDEI
查看更多>>本刊是中国空气动力学会主办的国家一级，公开发行刊物，主要刊载流体力学，特别是空气动力学各领域实验与测量方面的新理论、新成果、新信息、新动态，是综合学术性技术性刊物，也是航空航天类中文核心期刊。本刊论文均有中、英文摘要，也刊登英文稿，国家自然科学基金等资助论文优先刊登。
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    SiC压阻式压力传感器欧姆接触制备工艺及性能研究

    杨健许姣赵晨曦郝文昌...
    93-98页
    查看更多>>摘要：SiC压阻式压力传感器是解决飞行器表面高温脉动压力原位测量的重要测试工具,为了提高传感器性能、降低敏感芯片金属——半导体接触阻抗,本文对n型4H-SiC欧姆接触的制备工艺及性能进行了研究.采用离子注入工艺对SiC基片进行了磷(P)离子注入,根据蒙特卡洛模型,采用SRIM软件对注入工艺进行仿真设计,实现n型重掺杂.金属电极采用复合金属层Ta/Ni/Pt,通过超高温真空退火工艺对4H-SiC欧姆接触进行退火处理并对其工艺参数进行了优化.对欧姆接触的电学特性进行I-V测试,采用四探针法对欧姆接触的比接触阻率ρc进行表征.结果表明,磷离子注入浓度为3×1020 cm-3,欧姆接触退火温度 1 000℃且保持 20 min的工艺条件可实现良好的SiC欧姆接触.测试得到其比接触阻率ρc 为 4.64×10-5 Ω·cm2,且 600℃高温结果相比于 20℃结果的变化率为 6%.证明该欧姆接触具有低接触阻抗和良好的温度稳定性.该欧姆接触制备工艺有助于改善SiC压阻式压力传感器技术指标,如减小热零点漂移等参数,提高传感器的全温稳定性.

    离子注入欧姆接触真空退火工艺压力传感器4H-SiC

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    Schmidt-Boelter热流传感器的改进和性能测评

    朱涛杨凯朱新新徐洋...
    99-105页
    查看更多>>摘要：为满足常规高超声速风洞连续变迎角试验动态热流测量需求,改进了一种小尺寸Schmidt-Boelter热流传感器.以热流标定装置进行了静态校准和动态测试,得到改进后传感器的灵敏度系数为 57.67 µV·m2/kW,响应时间约 26 ms,截止频率 26 Hz,可覆盖 1～130 kW/m2 的热流范围.基于特征响应时间常数,建立了变迎角速度与最大测量误差的定量关系;参照某阶梯变迎角试验测得的热流数据,对该传感器在一定误差范围内能够满足的最大连续变迎角速度进行了评估.

    动态热流测量Schmidt-Boelter传感器连续变迎角常规高超声速风洞

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