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期刊信息/Journal information
真空
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陆国柱

双月刊

1002-0322

zkzk@chinajournal.net.cn

024-24110136

110042

辽宁省沈阳市万柳塘路2号

真空/Journal Vacuum北大核心CSTPCD
查看更多>>本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
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    Zr55Cu30Al10Ni5非晶薄膜的制备与性能研究

    辛先峰刘林根林国强董闯...
    1-6页
    查看更多>>摘要：非晶薄膜由于其优异的性能而被广泛研究,如不粘性和耐腐蚀性,这对于大块金属玻璃形成能力强的Zr55Cu30Al10Ni5成分来说尤为突出.本文以Zr55Cu30Al10Ni5块状金属玻璃为靶材,通过直流磁控溅射制备非晶合金薄膜,研究了不同溅射功率对薄膜力学性能、不粘性、耐蚀性和表面粗糙度的影响.结果表明,在磁控溅射功率为75～165W的范围内,可以获得高质量的非晶态薄膜,其硬度达到～9.2GPa,弹性模量～164GPa,硬弹性比～0.055,自腐蚀电流密度～1.16μA·cm-2,自腐蚀电位-241.27mV,最大润湿角104°.这些性能数据与文献报道的接近,硬度甚至更高,证实该薄膜具有用于不粘和抗腐蚀方面的良好潜力.

    Zr基非晶合金薄膜磁控溅射不粘性耐蚀性

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    钯金属薄膜制备方法的研究现状与进展

    王冬远周甜陈强刘忠伟...
    7-13页
    查看更多>>摘要：近年来,钯金属薄膜由于具有电阻率低和催化活性高等优异性能引起人们的广泛关注,钯及其合金薄膜在集成电路互连应用、氢传感、储氢和催化方面获得了越来越多科研工作者的兴趣.目前已有诸多制备钯金属薄膜的研究,本文重点介绍了利用物理气相沉积技术、化学气相沉积技术、原子层沉积技术以及等离子体辅助原子层沉积技术制备钯薄膜的研究现状,讨论了各种制备方法的优缺点,对所使用的前驱体作了总结,并展望了钯薄膜制备技术未来发展趋势.

    Pd金属薄膜物理气相沉积化学气相沉积原子层沉积

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    FCVAD技术制备CrCN薄膜的热稳定性研究

    吴帅刘爽覃礼钊张旭...
    14-19页
    查看更多>>摘要：磁过滤真空阴极弧沉积(FCVAD)技术制备的CrCN薄膜具有优异的机械性能,可作为表面改性膜应用于纺织器材、pcb钻头和活塞环中.本文针对薄膜因摩擦产生高温或应用环境温度高,其结构和性能将发生变化的情况,研究了 CrCN薄膜的热稳定性.通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、拉曼光谱(Raman)和X射线光电子能谱(XPS)对常温至800℃下薄膜的结构进行了表征.结果显示:FCVAD技术制备的CrCN薄膜热稳定上限温度约为400℃.温度在400℃以下时,CrCN薄膜结构稳定,保持无序状态;当温度达到500℃时,薄膜表面出现细小晶粒,薄膜中的CrN相转化为Cr2N相;随着温度继续升高,CrCN固溶相开始石墨化,薄膜内晶粒尺寸变大;当温度大于700℃时,薄膜中的碳以CO或CO2的形式脱离薄膜,Cr元素以Cr2O3相的形式存在,并在800℃长成尺寸约400nm的晶粒.

    FCVAD技术CrCN薄膜热稳定性

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    沉积真空度对铝化物涂层相结构和高温氧化行为的影响

    王鑫甄真牟仁德何利民...
    20-27页
    查看更多>>摘要：采用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)工艺,在沉积真空度为150mbar、200mbar和250mbar的条件下分别在镍基单晶高温合金基体上制备了三种铝化物涂层,研究了沉积真空度对铝化物涂层相结构和高温氧化行为的影响.借助X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等表征方法系统分析了三种铝化物涂层的相结构、显微形貌和化学组成.结果表明:三种沉积态铝化物涂层的相结构均为β-NiAl相,沉积真空度为200mbar的涂层样品还存在Ni1.04Al0.96和Ni1.1Al0.9双相结构;经1100℃静态氧化后,三种涂层表面均形成了 Al2O3,β-NiAl相转变为γ'-Ni3Al相,沉积真空度为250mbar的涂层样品中γ'-Ni3Al相的峰强度最低;三种铝化物涂层的氧化增重速率分别为0.037g/(m2·h)、0.022g/(m2·h)和0.018g/(m2·h),沉积真空度为150mbar的涂层样品氧化增重值大于其他两种涂层样品;沉积真空度越低,涂层表面存在的微观孔洞数量越多,高温氧化后涂层表面所形成的氧化膜越易于萌生显微裂纹和出现氧化膜脱落现象.基于本文试验结果,沉积真空度为250mbar所制得的涂层样品,其显微组织、元素含量和高温抗氧化性能最佳.

    化学气相沉积铝化物涂层沉积真空度相结构高温氧化

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    多弧离子镀Zr/ZrN多层膜的力学性能研究

    刘洋张雅楠高晟元赵祯赟...
    28-31页
    查看更多>>摘要：采用多弧离子镀膜法制备了 ZrN单层膜和不同调制比的Zr/ZrN多层膜,研究了调制比对多层膜力学性能的影响.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和微米压痕仪分别测试了薄膜的物相结构、表面形貌、硬度和结合力.结果表明:多层膜中ZrN有较高的结晶度,膜层表面形貌平整,组织结构致密,分布有球状Zr颗粒;Zr/ZrN多层膜的硬度高于单层ZrN薄膜,并随着调制比的增加先增大后减小,调制比为1:1时,Zr/ZrN多层膜的硬度达到1541.58Hv,结合力为51.61N.

    多弧离子镀调制比ZrNZr/ZrN多层膜力学性能

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    电弧离子镀弧斑运动对膜层质量影响分析

    乔宏李灿伦蔺增王松超...
    32-37页
    查看更多>>摘要：随着薄膜材料在现代工业中的广泛应用,电弧离子镀技术已成为制备功能性膜层的重要方法,在航空航天方面主要面向于功能表面改性、复合材料表面金属化等领域.本文采用磁场控制电弧离子镀靶材表面的弧斑运动,在Ti靶上验证了弧斑在不同磁场下的运动状态,分析了弧斑的运动速度及运动范围.在五种磁场情况下制备TiN膜层,通过扫描电镜、能谱分析仪、台阶仪、X射线衍射仪等对TiN膜层的表面形貌、微观结构、成分元素、膜层厚度等进行了分析.结果发现,当磁场控制弧斑均匀地分布在整个Ti靶面,且弧斑运动速度加快时,膜层表面大颗粒数最少,膜层最厚,晶体择优生长方向为(111)晶面.

    电弧离子镀弧斑磁场膜层分析

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    高效节能型聚对二甲苯真空镀膜设备研制及其在农业领域的应用

    李志胜刘小江段玉权林琼...
    38-44页
    查看更多>>摘要：随着聚对二甲苯(Parylene)镀膜技术的快速发展和应用,如何有效提高聚对二甲苯材料的利用率、提高成膜质量、降低生产成本等在工业化生产过程中被广泛关注.本文对常规聚对二甲苯真空镀膜设备的结构特点和应用现状进行了详细分析,结合稀薄气体流动特性、传热学及工业化生产需求,设计研制了采用内置裂解加热器的聚对二甲苯真空镀膜设备.同时,根据聚对二甲苯镀膜室特有的环境工况以及膜层可抵御酸碱、盐雾、霉菌的特性,提出了对鲜花和低水分干种子进行镀膜保护的工艺研究,拓展了聚对二甲苯镀膜技术在农业领域的应用.

    聚对二甲苯气相沉积内置裂解器干种子

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    高压差罗茨泵组合抽气系统在大型减压蒸馏深拔装置的应用

    张宝夫于洋高逊懿李金建...
    45-49页
    查看更多>>摘要：与蒸汽喷射真空泵抽气系统相比,罗茨真空泵组合抽气系统具有启动快、节能效果明显等特点,正在被越来越多的减压蒸馏装置所采用.本文介绍了一种高压差罗茨泵组合抽气系统在大型减压蒸馏深拔装置上的应用,详细说明了该系统的结构组成、控制原理、性能参数及一些关键技术问题的解决方案.

    高压差罗茨真空泵减压蒸馏抽气系统密封结构腐蚀

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    空间行波管专用排气工艺极高真空系统的研制

    卢少波姚铮宋艳鹏韩永超...
    50-54页
    查看更多>>摘要：空间行波管广泛应用于通信卫星、雷达卫星和定位导航等领域,极高真空的获得与维持是空间行波管高可靠性和长寿命的关键,因此研究极高真空烘烤排气系统具有重要意义.极高真空的获得需要在专用真空排气设备上进行,真空排气工艺是微波真空电子器件制造工艺中最重要的一种技术.极高真空的获得和维持涉及多种技术,包含材料的选择、真空室的设计、真空泵的选择、极高真空的获得和测量、真空除气、高灵敏度真空检漏技术和残余气体分析技术等.本文介绍了空间行波管极高真空系统工艺设备研制过程及其在科研生产中的应用.该真空系统实现了空载真空度优于1×10-9Pa,多路带载真空度优于5×10-9Pa,对超高真空、极高真空的获得和真空排气设备制造工艺及应用等具有一定的参考价值.

    极高真空空间行波管真空排气出气速率

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    超声速运行时管道列车激波特性分析

    黄尊地伊严严常宁
    55-62页
    查看更多>>摘要：空气已经成为高速列车进一步提速的关键制约因素之一,为发展下一代更高速的交通运输系统,低真空管道和超高速列车结合的创新性交通运输系统构想得以提出和发展.本文建立管道列车二维计算模型,基于验证的网格和湍流模型开展超声速列车运行管道激波特性分析.结果表明:超声速列车运行时,列车前方激波以正激波形式形成壅塞区段向前推进;正激波位置随运行时间前移,压力激增的位置同步前移,但激波前后的压升比值基本不变;运行时间和运行马赫数影响壅塞区段长度;激波会在管道和列车车体之间以及尾流区域进行多次马赫反射形成激波串,随着运行时间的增长,管道车体之间激波减弱,车尾激波及反射激波强度增强.

    超声速管道列车激波特性正激波激波反射

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