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真空科学与技术学报
真空科学与技术学报

吴锦雷

月刊

1672-7126

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100022

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报/Journal Chinese Journal of Vacuum Science and TechnologyCSCD北大核心CSTPCDEI
查看更多>>本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
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    光电薄膜的检测与表征研究进展:角度、空间、时间分辨技术

    龚正张树钱郭焱民苏昊...
    825-840页
    查看更多>>摘要：高效、准确、全面地衡量光电薄膜,可以深入了解其结构特性、电学与光学特性等方面的信息,在器件的设计和性能优化方面发挥着关键作用.同时,光电薄膜的检测与表征也为光电薄膜材料的研究和开发提供了重要的理论基础和指导,推动了光电器件领域的技术进步和应用拓展,具有重要的学术意义和应用价值.近些年,涌现出多种新型检测与表征技术,然而相关综述文献较少,难以直观地了解各种最新表征方法的原理及其在器件性能优化中的具体应用.文章围绕角度分辨、空间分辨、时间分辨三个表征维度,综述了目前光电薄膜检测与表征技术的基本原理和特点,并介绍了相关技术在光电薄膜的发光特性、可视化空间异质性、载流子动力学等方面的应用进展.最后,讨论并展望了光电薄膜检测与表征技术的未来发展趋势.

    光电薄膜光电特性空间异质性载流子动力学

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    CVD金刚石膜研究进展

    权乐
    841-852页
    查看更多>>摘要：金刚石由于其优异的声、光、电、热和力学性能,是重要的功能材料之一.金刚石的制备方法主要有高温高压方法和低压化学气相沉积方法.化学气相沉积法因制备得到的样品质量高、面积大,设备简单、可规模化等特性,是合成金刚石膜的重要方法.为了实现低合成压力条件下的金刚石膜的均匀、快速、大尺寸、高质量生长,目前研究人员在金刚石低压生长的控制方面做出了深入的研究.文章综述了近年来化学气相沉积法(包括热丝CVD法、离子体增强CVD法、燃烧火焰CVD法)生长金刚石膜的研究进展,包括金刚石膜的生长机理、关键设备、关键工艺参数等.此外,还详细讨论了生长过程中的关键工艺参数与金刚石膜生长速率和质量的关系,这些对化学气相沉积制备金刚石膜的研究、生产至关重要.

    金刚石膜化学气相沉积等离子体增强化学气相沉积热丝化学气相沉积燃烧火焰化学气相沉积

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    基于可视化的真空镀膜装备TBT竞争技术分析

    叶俊文黎子辉李晓刚万雨龙...
    853-862页
    查看更多>>摘要：当前国内真空镀膜装备技术市场规模持续扩大,而国际贸易竞争愈发激烈的背景下对TBT的研究更为重要,针对真空镀膜装备开展TBT竞争技术分析,采用数据可视化技术,以国内外TBT数据(通报和标准)为对象,探索可视化处理过程,通过实证图像解析领域内价值结果,尤其是聚焦TBT通报目的与技术内容、标准类别与主题的关联关系,形成文献数据、专利、以及TBT数据三位一体的可视化成果,从而转化为产业竞争技术,以广东为例构建产业标准体系与路线图规划,充分剖析真空镀膜装备的竞争现状和发展前景,指明该领域技术的前进方向.

    数据可视化真空镀膜技术性贸易壁垒技术标准竞争技术路线图

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    热轧温度对Ti-Zr-V-Nb-Si合金微观组织和力学性能的影响

    刘娅张朝晖何杨宇贾晓彤...
    863-870页
    查看更多>>摘要：采用真空电弧熔炼制备了密度仅为 6.1 g/cm3 的(TiZrV0.5Nb0.5)99.4Si0.6 轻质高熵合金,并分别选取 900℃、1000℃和1100℃的热轧温度对合金进行轧制改性处理,探究了不同热轧温度对微观组织与力学性能的影响.结果表明:真空电弧熔炼制备的合金经轧制后强度和延伸率均得到提高,在 900℃下热轧的合金具有的 1164.5 MPa的拉伸断裂强度以及 14.7%的延伸率,性能提升最佳,较铸态合金分别提高了 13.9%和 950%.随着热轧温度的进一步升高,合金平均晶粒尺寸变大、力学性能不断下降.900℃下热轧后合金优异的综合力学性能是位错增殖、固溶强化、第二相强化和晶粒细化四种强化机制共同作用的结果.

    高熵合金微观组织力学性能强化机制真空电弧熔炼

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    BNCT02真空设计及仿真

    刘顺明曹秀霞李志平欧阳华甫...
    871-877页
    查看更多>>摘要：BNCT02由两套加速器和 5个治疗端组成,可实现 2组癌症患者同时治疗.目前开工建设的是其中一套装置,由一台ECR离子源,一条低能传输线(LEBT),一台 2.8 MeV射频四极加速器(RFQ),两条高能传输线(HEBT)、两个治疗端和一条临时调束线组成.文章首先介绍了BNCT02真空设计,利用Molflow软件计算了RFQ及HEBT不同状态下的压力分布,并与实测情况进行比对.然后,对HEBT区段异型真空盒形变、水冷真空盒温升进行模拟计算,并优化对应真空盒设计.目前整个装置已经稳定运行,真空系统满足设计要求.

    硼中子俘获治疗真空系统设计压力分布异型真空盒设计形变温升

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    真空断路器弹簧机构凸轮优化与虚拟样机验证分析

    刘晓明梁澳陈海史红菲...
    878-884页
    查看更多>>摘要：机构刚合速度特性是影响真空断路器合闸可靠性的关键因素,为减小机构动态冲击实现可靠关合,文章以 10 kV交流真空断路器用弹簧操动机构为研究对象,以真空灭弧室动触头刚合运动特性为设计目标,采用响应面法对凸轮结构进行参数化设计.通过改变凸轮结构形面参数以及合闸簧预紧力,实现机构运动特性的优化.比对分析结果表明,在保证机构运动特性的前提下,选择以刚合速度时间特性优化凸轮轮廓可以提高机构合闸运动的可靠性.

    真空断路器弹簧操动机构凸轮合闸运动特性响应面法

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    径向间隙对液环真空泵内流场及其性能影响机理研究

    刘华一赵国勇孟凡瑞高瑛琦...
    885-891页
    查看更多>>摘要：现有大型液环真空泵能耗高、运行效率低下、研发周期长且产品失败率较高.为解决以上问题,文章基于FLUENT仿真软件,针对一种通过旋转泵体来实现径向间隙改变的液环真空泵,建立数学模型;进行外特性测试,验证仿真结果的准确性;探究径向间隙对液环泵内流场气液两相、压力、速度和进出口回流特性的影响机理;通过数值计算,得出径向间隙和叶片包角对吸气量、轴功率及效率的影响规律.结果表明,通过调整径向间隙和叶片包角,可以有效地改善泵内的流动情况,提升吸气效率和整体性能,为新型液环泵研发提供了理论支撑.

    液环真空泵径向间隙内流场回流

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    基于层次分析法的红枣切片热风真空及组合干燥试验与品质评价

    牛静怡袁越锦李颖徐英英...
    892-900页
    查看更多>>摘要：红枣富含维生素和糖分,营养价值高,干燥是红枣加工的主要方式之一,通过降低红枣的水分含量来延长货架期.但传统的红枣干燥方法存在品质差、效率低等问题,同时目前关于红枣干燥的分析难以对多个品质指标进行综合评价,为此,文章以陕西特产狗头枣为试验材料,研究了热风干燥、真空干燥、热风真空组合干燥、真空冷冻干燥(参照组)四种干燥方式下红枣切片的干燥品质,比较了不同干燥方式下的干燥特性,以干燥时间、复水比、色泽、Vc含量、质构特性为评价指标,采用层次分析法(AHP)对热风干燥、真空干燥、热风真空干燥进行了综合评价.试验结果表明:红枣切片干燥由外部水分蒸发和内部水分扩散共同控制,热风干燥有效水分扩散系数Deff最大,其次是热风真空组合干燥,真空干燥的有效水分扩散系数最小;在干燥品质方面,虽然真空冷冻干燥(参照组)Vc含量、色差、复水比等品质最佳,但其过高的干燥耗时使其能耗增加,干燥成本增加,因此对于热风干燥、真空干燥、热风真空干燥采用层次分析法进行了综合评分排序,最终综合评分最高的为热风真空组合干燥.

    红枣层次分析法热风真空干燥干燥品质

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    真空筛分多孔介质床流动阻力系数预测及影响因素分析

    聂玲马卫国阳婷
    901-911页
    查看更多>>摘要：探究真空筛分流体流动特性对于揭示真空筛分机理至关重要.然而,真空筛分过程中筛网截留的固体颗粒形成的过滤床难以采用微观结构描述,通常假设为多孔介质床.为了精确描述多孔介质床的流体流动特性,深入研究真空筛分性能,文章基于实验与机器学习方法预测真空筛分多孔介质床流动阻力系数,分析了BP神经网络,随机森林和XGBoost模型特征重要性排序结果,识别出影响多孔介质床流动阻力系数因素的敏感性顺序为气流速度>颗粒床>颗粒配比>颗粒层厚度>筛网目数.最后,采用遗传算法GA,以XGBoost预测模型作为多目标优化的适应度函数,建立真空筛分多孔介质床多目标优化模型,得到最优真空筛分工艺参数和流动阻力系数.文章为真空筛分流动阻力系数的研究提供了一种新方法,研究结果对揭示真空筛分机理具有重要意义.

    多孔介质床真空筛分机器学习阻力系数影响因素

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    用于燃料棒氦质谱检漏的多级差分真空系统设计方案研究

    张周胡耀峰杨佳李涛...
    912-921页
    查看更多>>摘要：用于燃料棒氦检漏的装置是燃料棒生产过程中的核心部件之一,关系到燃料棒的生产质量和核电站运行稳定.现有的检漏装置采用卧式检漏装置,将燃料棒成批放入其中进行检测,检漏效率有待提高.文章开发一种多级差分真空系统,用于燃料棒的在线通过式检漏,根据系统特点,提出了系统的设计思路和流程,通过迭代计算的方法,进行极限差分比、抽速和稳态压力计算,并对系统的参数进行分析.研究表明,该多级差分真空系统的研制是可行的,检漏室压力能维持在较低的水平,检漏响应时间较快,检漏效率优于现有设备,且系统冗余度较高,有较大的降低成本的空间.该系统能实现单根燃料棒的氦质谱检漏,为燃料棒的质量管控和溯源提供了基础.

    燃料棒氦检漏差分真空系统设计方案

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