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硅基与石墨烯基谐振式压力传感器研究进展

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谐振式压力传感器具有优异的传感性能,在航空航天、工业自动化控制等领域有着广泛的应用,开展谐振式压力传感器相关研究具有重要意义.简述了压力传感器标准指标体系,为传感器性能评价提供基础依据,回顾了近20年内硅基谐振式压力传感器(Silicon Resonant Pressure Sensor,SRPS)的研究成果.石墨烯作为单原子层天然纳米材料,被认为是研制压力传感器的理想材料.进一步总结了石墨烯基谐振式压力传感器(Graphene Resonant Pressure Sensor,GRPS)的最新研究进展,已有研究结果表明GRPS灵敏度普遍比SRPS高1～2个数量级.提取文献中实验数据估算当前GRPS线性度和精度指标,分析结果表明,当前GRPS与SRPS性能指标差距明显.基于此,指出了GRPS的不足,提出解决路线.
Research Progress of Resonant Pressure Sensors Based on Silicon and Graphene

刘冠军、徐方松、刘瑛、郑贤德、王钦、邱静

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国防科技大学智能科学学院,湖南长沙410000

压力传感器 谐振式 性能指标 石墨烯 MEMS

国家自然科学基金资助项目重点实验室基金重点实验室基金

516756261422152003046142003190202

2021

10.19708/j.ckjs.2021.04.227

测控技术
中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所

测控技术

CSTPCD
影响因子：0.5
ISSN：1000-8829
年,卷(期)：2021.40(11)
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