首页|MEMS惯性开关的原理及研究进展

MEMS惯性开关的原理及研究进展

扫码查看
原文链接
  • 国家科技期刊平台
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普
MEMS惯性开关是一种无源电子器件,集传感器与执行器为一体,具有尺寸小、制造成本低、可批量生产等多种优点,在玩具、汽车电子、物联网和军事等领域有着广泛的应用前景.由于惯性开关具有在未触发状态时待机功耗为零的特点,其在远程监控等电量有限的应用场景下有着明显的优势.介绍了MEMS惯性开关的基本物理模型和工作原理,并对影响器件工作效果的重要性能参数进行了分析.根据器件的导通方式、接触增强的设计方法、开关的敏感冲击方向和敏感的阈值大小,对国内外研究的惯性开关进行了分类和阐述.此外,还讨论了MEMS惯性开关的微加工工艺和测试.对MEMS惯性开关器件进行了相应的总结和展望,为之后的研究提供了参考.
Principle and Recent Progress of MEMS Inertial Switch

任超、刘峰华、付博、康兴国、丁桂甫、杨卓青

展开 >

上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海200240

西安机电信息技术研究所,陕西西安710065

淮海工业集团有限公司MEMS中心,山西长治046012

MEMS惯性开关 物理模型 研究进展 微加工工艺 测试方法

国家重点研发计划装备预研教育部联合基金国家自然科学基金

2020YFB20085036141A0202242461974088

2021

10.19708/j.ckjs.2021.02.219

测控技术
中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所

测控技术

CSTPCD
影响因子：0.5
ISSN：1000-8829
年,卷(期)：2021.40(11)
  • 1
  • 6