摘要
压电电机是解决传统电机在精密驱动方面局限性的一种关键驱动器,其中采用逆压电效应和惯性位移原理的压电惯性电机更是新颖热点.黏滑模式相比滑移模式更能满足精密控制运动的要求,是压电惯性电机研究发展中的重要组成.首先介绍了黏滑模式压电惯性电机的基本原理,详细综述了黏滑模式压电惯性电机的研究进展,包括信号控制式压电惯性电机、摩擦控制式压电惯性电机和结构控制式压电惯性电机,最后探讨了黏滑模式压电惯性电机未来可继续改进的部分要点.
基金项目
国家自然科学基金委项目(52075108)
广东省基础与应用基础研究基金重点项目(2019B1515120017)
广州市科技计划(202002030418)