摘要
选取某真空系统为研究对象,该系统主要由真空泵、真空室和管道等元件组成.运用流动系统的一维仿真软件Flowmaster计算真空系统在特定工况下的抽气速率、压力、密度等参数随时间的变化规律.首先采取与理论方法、Fluent三维方法计算简单系统模型对比的方式,验证Flowmaster对真空系统计算的有效性,然后运用Flowmaster模拟计算多元件且结构复杂的真空系统.研究表明:对所研究的真空系统,T型管产生的局部阻力比管道沿程阻力对气体压降和密度影响更大,对达到特定压力指标所需时间的影响随着抽气过程逐渐减小;整个抽气过程中真空系统管道基本处于湍流状态.Flowmaster计算与理论计算、Fluent模拟结果变化趋势一致,偏差较小,表明应用流动系统尺度的一维软件,可以有效分析多元件且结构复杂的真空系统问题.
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