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一种对极数互质的高精度绝对式角位移传感器

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提出了一种对极数互质的高精度绝对式时栅角位移传感器.在N对极的单圈增量电场式时栅角位移传感器的基础上增加一个M对极的传感器,实现组合测量,其中,2个增量式传感器对极数N和M为互质数,对极数多的作为精测部分,保证传感器的测量精度;对极数少的作为粗测部分,利用2个增量式传感器输出行波相位差和空间角度对应关系实现传感器的绝对角位移测量.采用差动感应电极结构消除共模干扰以保证测量精度,这种对极数互质组合测量传感器既能够较容易实现绝对定位,又能够保证传感器的高精度.采用印制电路板技术制造了外径154 mm、内径100 mm、厚度2 mm的传感器样机,搭建了实验平台进行测试,测试结果表明:该传感器的整周测量范围原始精度可达±1.8″.
A high precision absolute angular displacement sensor with a coprime number of measurement periods

吴昶亮、于治成、蒲红吉、展丙男、樊星辰

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重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆 400054

北京理工大学机械与车辆学院,北京 100081

合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥 230009

互质 绝对式 角位移传感器 时栅

重庆市教委科学技术研究项目重庆市教委科学技术研究项目重庆市教委科技创新项目

KJQN202001133KJQN202101121KJCX2020043

2023

10.3969/j.issn.1674-8425(z).2023.02.019

重庆理工大学学报
重庆理工大学

重庆理工大学学报

CSTPCD北大核心
影响因子：0.567
ISSN：1674-8425
年,卷(期)：2023.37(4)
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