具有大行程的步进型压电致动器研究综述
Stepper piezoelectric actuators with large strokes:a review
张韬 1马瑞 1王阳 1陈玉国 1张健 1王宇航1
作者信息
- 1. 东北林业大学 机电工程学院,哈尔滨 150000
- 折叠
摘要
为了克服单个压电元件工作行程有限的不足,学者们提出了各种步进运动原理,并据此设计了各种结构的步进型压电致动器.重点介绍了步进型压电致动器的3 种主要类型,即尺蠖型压电致动器、超声型压电致动器和粘滑型压电致动器,分别阐述了这 3 种压电致动器的运动原理和发展现状,指出了存在的问题与不足.
关键词
压电驱动技术/压电致动器/步进式压电驱动/纳米级定位Key words
piezoelectric drive technology/piezo actuators/step-type piezoelectric drive/nanoscale positioning引用本文复制引用
基金项目
黑龙江省重点研发计划指导类项目(GZ20220114)
中央高校项目(2572022BF03)
出版年
2023
国家科技期刊平台
NSTL
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