具有大行程的步进型压电致动器研究综述

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中文摘要：为了克服单个压电元件工作行程有限的不足,学者们提出了各种步进运动原理,并据此设计了各种结构的步进型压电致动器.重点介绍了步进型压电致动器的3 种主要类型,即尺蠖型压电致动器、超声型压电致动器和粘滑型压电致动器,分别阐述了这 3 种压电致动器的运动原理和发展现状,指出了存在的问题与不足.

外文关键词：

piezoelectric drive technologypiezo actuatorsstep-type piezoelectric drivenanoscale positioning

作者：

张韬、马瑞、王阳、陈玉国、张健、王宇航

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作者单位：

东北林业大学机电工程学院,哈尔滨 150000

关键词：

压电驱动技术压电致动器步进式压电驱动纳米级定位

基金：

黑龙江省重点研发计划指导类项目中央高校项目

项目编号：

GZ202201142572022BF03

出版年：

2023

DOI：

重庆理工大学学报

重庆理工大学

CSTPCD北大核心

影响因子：0.567

ISSN：1674-8425

年,卷(期)：2023.37(17)