电镀与环保2020，Vol.40Issue(2) ：1-3.

适用于微机电器件的钯-镍合金膜层的制备

Preparation of Pd-Ni Alloy Film for Micro-electro-mechanical Devices

王利卿 张国辉
电镀与环保2020，Vol.40Issue(2) ：1-3.
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适用于微机电器件的钯-镍合金膜层的制备

Preparation of Pd-Ni Alloy Film for Micro-electro-mechanical Devices

王利卿 1张国辉2
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作者信息

  • 1. 河南水利与环境职业学院机电与信息工程系,河南郑州450008
  • 2. 郑州航空工业管理学院管理工程学院,河南郑州450015
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摘要

以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层.选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金膜层的孔隙率和内应力的影响.结果 表明:随着占空比的增大,孔隙率升高,内应力先减小后增大;随着脉冲频率的提高,孔隙率明显降低,内应力增大;当占空比为20 ％～30％、脉冲频率为1.0 kHz时,采用脉冲电沉积方法能制备出适用于微机电器件的钯-镍合金膜层.

关键词

钯-镍合金膜层/微机电器件/孔隙率/内应力

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基金项目

河南省职业教育教学改革研究项目(ZJA15155)

出版年

2020
电镀与环保
上海市轻工业科技情报研究所

电镀与环保

CSTPCD北大核心
影响因子：0.237
ISSN：1000-4742
参考文献量6
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