电子束熔炼去除多晶硅中镁元素的研究

高孝书¹

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作者信息

1. 宁夏职业技术学院能源与化工技术系宁夏银川 750021
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摘要

采用电子束熔炼的方法提纯多晶硅.重点研究多晶硅中的杂质元素Mg在电子束熔炼时中的挥发情况.实验用功率为200Kw电子枪,熔炼30min后,多晶硅中Mg元素含量从不高于5.0×10-4%(质量分数)降低至1.7×10-5%(质量分数);实验结果表明,熔炼初期杂质元素 Mg 的挥发速率遵循一阶反应方程,随着熔炼时间的增长,挥发速率逐步减缓,最终趋于稳定.

关键词

多晶硅/电子束熔炼/杂质元素/Mg/挥发速率

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出版年

2015

东方教育

江苏广播电视报

东方教育

影响因子：0.036

ISSN：2079-3111

参考文献量2

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