电子与封装2022，Vol.22Issue(4) ：16-20.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0403

基于Al2O3/NEA121堆叠薄膜的水氧阻隔性能研究

Research on Water and Oxygen Barrier Performance Based on Al2O3/NEA121 Encapsulation Film

彭荣 杨振波 王珺
电子与封装2022，Vol.22Issue(4) ：16-20.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.0403
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基于Al2O3/NEA121堆叠薄膜的水氧阻隔性能研究

Research on Water and Oxygen Barrier Performance Based on Al2O3/NEA121 Encapsulation Film

彭荣 1杨振波 1王珺1
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作者信息

  • 1. 广州科技职业技术大学信息工程学院,广州 510000
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摘要

薄膜封装是有机电致发光器件柔性化亟需解决的关键技术难题.用NEA121树脂与Al2O3作为薄膜封装的有机膜与无机膜封装,封装薄膜的水氧阻隔性能通过钙膜测试.实验结果表明,3层堆叠Al2O3/NEA121封装后的水汽透过率(Water Vapor Transmission Rate,WVTR)达到2.1×10-4 g/(m2·d),封装薄膜的失效原因是水汽通过封装薄膜缺陷点渗透,不断腐蚀钙膜导致封装失效,而采用无机/有机堆叠封装的方法使薄膜的封装效果得到了改善.

关键词

薄膜封装/无机/有机叠层薄膜/水汽透过率/原子层沉积/旋涂

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出版年

2022
电子与封装
中国电子科技集团公司第五十八研究所

电子与封装

影响因子：0.206
ISSN：1681-1070
参考文献量2
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