电子与封装2022，Vol.22Issue(10) ：18-25.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.1013

eFuse熔丝电阻值的测量方法

Method for Measurement of Fuse Resistance Value in eFuse

晏颖 张睿
电子与封装2022，Vol.22Issue(10) ：18-25.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.1013
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eFuse熔丝电阻值的测量方法

Method for Measurement of Fuse Resistance Value in eFuse

晏颖 1张睿2
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作者信息

  • 1. 上海华力集成电路制造有限公司,上海 201316
  • 2. 浙江大学微纳电子学院,杭州 310014
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摘要

作为电编程熔丝(eFuse)中的存储介质,熔丝的电阻值用来表征所存储的数据.2种采用5端口法设计的测试单元被用来测量eFuse单元中熔丝的电阻值以及编程控制管的特性参数,并应用于后续通过测试芯片测量eFuse中熔丝电阻的方案中,以间接测量eFuse编程通路的电阻值并消除漏电电流影响的方式准确推算出熔丝的电阻值.最后,提出了 1种在常规eFuse中增加辅助电路来测量熔丝电阻的设计方案及测量方法.

关键词

电编程熔丝/熔丝/电阻值测量

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出版年

2022
电子与封装
中国电子科技集团公司第五十八研究所

电子与封装

影响因子：0.206
ISSN：1681-1070
参考文献量9
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