电子与封装2022，Vol.22Issue(10) ：76-80.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.1005

SOI基光波导传输损耗的研究

Study on Propagation Losses of SOI-Based Optical Waveguide

李逸康 张有润 葛超洋 汪煜 张波
电子与封装2022，Vol.22Issue(10) ：76-80.DOI:10.16257/j.cnki.1681-1070.2022.1005
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SOI基光波导传输损耗的研究

Study on Propagation Losses of SOI-Based Optical Waveguide

李逸康 1张有润 1葛超洋 2汪煜 2张波1
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作者信息

  • 1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都 610054
  • 2. 中国电子科技集团公司第五十八研究所,江苏无锡 214035
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摘要

SOI基光波导中直波导的传输损耗包括模式失配损耗、内部散射损耗和表面散射损耗.为了研究直波导的传输损耗中3种损耗所占的比例,制作了相同宽度的条形和脊形波导,仿真分析和测试了 2种波导的传输损耗.对于1550 nm的光,测试得到条形波导和脊形波导的传输损耗分别为-2.4dB·cm-1和-2.0dB·cm-1,同样截面且忽略杂质缺陷和表面粗糙程度的理想波导的损耗均接近于0.通过对这些数据的分析,计算出条形波导表面散射损耗为-1.42dB·cm-1,占总体损耗的59.2％,内部散射损耗为-0.98dB·cm-1,占总体的40.8％.

关键词

波导/传输损耗/内部散射损耗/表面散射损耗

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出版年

2022
电子与封装
中国电子科技集团公司第五十八研究所

电子与封装

影响因子：0.206
ISSN：1681-1070
参考文献量1
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