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碳化硅多线切割技术研究

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在对碳化硅物理特性分析的基础上,对其多线切割的工艺技术进行了研究,总结出了在碳化硅多线切割设备的几个需要注意的技术要点;并在所研制的设备上进行了工艺切割试验,获得了较好的切割效果.
Research on Sic Silcing by Multi-wire Saw

付纯鹤、周庆亚、陈学森、丁鹏刚

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中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176

碳化硅 多线切割 摆动

2016

电子工业专用设备
中国电子科技集团公司第四十五研究所

电子工业专用设备

影响因子：0.157
ISSN：1004-4507
年,卷(期)：2016.45(8)
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