电子工业专用设备2023，Vol.52Issue(1) ：1-6,59.

TOPCon电池低压硼扩散设备的发展趋势分析

The Development Trend Analysis of TOPCon Battery Low Boron Diffusion Equipment

刘建华 龙辉 李程 梁浩 李楠
电子工业专用设备2023，Vol.52Issue(1) ：1-6,59.
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TOPCon电池低压硼扩散设备的发展趋势分析

The Development Trend Analysis of TOPCon Battery Low Boron Diffusion Equipment

刘建华 1龙辉 2李程 3梁浩 4李楠3
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作者信息

  • 1. 湖南红太阳新能源科技有限公司,湖南长沙 410000
  • 2. 湖南红太阳光电科技有限公司,湖南长沙 410000;中国电子科技集团第四十八研究所,湖南长沙 410000
  • 3. 湖南红太阳新能源科技有限公司,湖南长沙 410000;中国电子科技集团第四十八研究所,湖南长沙 410000
  • 4. 湖南红太阳光电科技有限公司,湖南长沙 410000
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摘要

随着太阳能光伏发电对晶体硅电池高转化效率需求的不断增加,对晶体硅电池技术关键设备投资性价比和发电性能的要求更高.对晶硅电池发展工艺技术进行了阐述,分析讨论了国内外隧穿氧化层钝化接触电池(简称"TOPCon")低压硼扩散炉的发展现状,探讨了硼扩散设备技术难点和未来研究方向.

关键词

太阳能/光伏发电/隧穿氧化层钝化接触电池/高转化效率/硼扩散

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出版年

2023
电子工业专用设备
中国电子科技集团公司第四十五研究所

电子工业专用设备

影响因子：0.157
ISSN：1004-4507
参考文献量5
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