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P3HT有机薄膜晶体管真空退火设备研究
P3HT有机薄膜晶体管真空退火设备研究
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中文摘要：
根据P3HT有机薄膜晶体管工艺,研制P3HT有机薄膜晶体管专用真空退火设备.主要介绍设备技术指标以及按其所进行的机械结构和电气控制系统具体设计.实验验证P3HT有机薄膜晶体管经真空退火后,器件迁移率变大,阈值变小,输出特性的电流增大,接触电阻降低,设备满足工艺要求.
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作者：
白丽凝、张宁
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作者单位：
中国电子科技集团公司第二研究所,山西 太原 030024
关键词：
P3HT有机薄膜晶体管
真空退火
石英管
出版年：
2015
轻工科技
广西轻工业科学技术研究院
轻工科技
影响因子：
0.261
ISSN：
1003-2673
年,卷(期)：
2015.
31
(8)
参考文献量
2
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