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基于在线测量的多腔体零件批次容积波动控制方法

Batch Volume Variation Control Method for Multi-Chamber Workpieces Based on Online Measurement

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Run-to-run控制方法是批量产品生产质量控制的最重要和最有效的方法之一,现有的批次控制方法存在不能充分利用批次全部数据的问题.因此,本文提出了一种基于在线测量的多腔体零件批次容积波动控制方法.首先,建立多零件(一个批次)的单输入单输出(MSISO)过程模型,并提出MSISO double exponentially weighted moving average (d-EWMA)控制器,基于在线测量得到每个批次零件的所有数据来更新下一批次零件的控制律.然后,对所提出的MSISO d-EW-MA控制器进行稳定性分析,得到使控制过程渐近稳定的充分条件.案例研究的结果表明:与其他基于run-to-run控制方法相比,所提方法可以有效地提高控制性能.

黄德林、杜世昌

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上海交通大学机械与动力工程学院,上海200240

批次控制 在线测量 double EWMA控制器

上海市科委重大项目

17DZ1101202

2020

工业工程与管理
上海交通大学

工业工程与管理

CSTPCD北大核心
影响因子:0.763
ISSN:1007-5429
年,卷(期):2020.25(3)
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