科技视界2024，Vol.14Issue(2) ：77-80.

硅片超精密磨削背面减薄加工试验分析

闫道恒 牛俊凯 张毅 陈晓强 时云鹏 贺柳青
科技视界2024，Vol.14Issue(2) ：77-80.
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硅片超精密磨削背面减薄加工试验分析

闫道恒 1牛俊凯 1张毅 1陈晓强 1时云鹏 1贺柳青1
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作者信息

  • 1. 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,河南 郑州 450001
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摘要

为了分析硅片超精密磨削背面减薄加工过程中,哪些因素会影响硅片的加工效率和表面质量,采用市场上主流的减薄设备进行了磨削加工试验.在试验中,分析了砂轮转速、砂轮进给速率、砂轮金刚石粒度等参数对硅片超精密磨削背面减薄加工过程中硅片加工效率和表面粗糙度的影响,以及不同的砂轮体积密度对砂轮使用寿命的影响.

关键词

超精密磨削/背面减薄/砂轮转速/表面粗糙度

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出版年

2024
科技视界
上海市科普作家协会

科技视界

影响因子：0.269
ISSN：2095-2457
参考文献量6
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