针对液氮冷冻固化HF时,存在的操作流程复杂、分离条件苛刻、HF与 72GeF4 难以分离等问题,进行球状NaF吸附净化HF试验。采用一定空隙率的球状NaF,在无水、低压条件下,通过HF与球状NaF之间的气相反应性吸附,将NaF转化为NaHF2,从而达到去除HF的试验目的。研究表明,在室温条件下,当吸附剂装填量大于 30 kg,吸附流量小于 1500 mL/min,吸附气体中HF体积含量小于 0。6‰,球状NaF吸附剂对HF的吸附率可达 90%以上,具有良好的吸附性能,可以实现连续的吸附和循环利用。