Improvements of Separating Process in Polycrystalline Si Production by Modified Siemens Arts and Crafts
温雅 1胡仰栋 1单廷亮1
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作者信息
1. 中国海洋大学化学化工学院,山东,青岛,266100
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摘要
对改良西门子法多晶硅生产中尾气分离工艺进行了改进.应用 Aspen plus 软件,利用精馏、吸收和吸附等不同分离方法进行组合,确定了尾气的分离序列,得到了操作条件温和的4个流程方案.用温焓图进一步分析各流程方案,发现各流程进行热匹配的意义不大,但分离过程所需的冷凝温度为250 K,易于实现.通过对比流程设备、吸收剂加入量、主要设备的操作压力、需公用工程加热与冷却的负荷等参数,确定了尾气分离的最佳流程.该流程的操作条件温和,且分离效果较好.
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