吉林广播电视大学学报2024，Issue(2) ：61-63.

氮化硅陶瓷的烧结工艺及其半导体应用进展

王天倚 王红宇 何亮 王浩
吉林广播电视大学学报2024，Issue(2) ：61-63.
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氮化硅陶瓷的烧结工艺及其半导体应用进展

王天倚 1王红宇 1何亮 1王浩1
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  • 1. 吉林建筑大学,吉林长春 130118
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摘要

氮化硅陶瓷是一种具有特殊的结构以及很好的热学性能与力学性能的陶瓷材料.本文综述了氮化硅陶瓷的主要烧结方法,并总结展望了氮化硅陶瓷的未来发展前景.

关键词

氮化硅陶瓷/烧结方法/氮化硅基板

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出版年

2024
吉林广播电视大学学报
吉林广播电视大学

吉林广播电视大学学报

影响因子：0.272
ISSN：1008-7508
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