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硅锭电火花线切割对称式张力控制研究

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针对半导体材料电火花加工过程中加工区域电极丝张力波动的现象,从数学模型的角度指出了传统的非对称式单边张力控制策略的不足,提出了一种新型的对称式双边张力控制方案,并给出基于此方案进行“分时切换控制”的具体实施流程,建立了张力控制系统数学模型,采用PID控制方法对对称式双边张力控制系统进行仿真.仿真结果表明,此控制方案在分时切换瞬间可以在30 ms内完成对目标值的快速追踪,并且超调量控制在5％以内.进行了恒张力控制对比实验.实验结果表明,此方案所得的张力波动率仅为非对称式单边控制方案的50％,改善了加工区域的张力波动情况,解决了因走丝方向不同导致的加工区域张力不一致的问题.
Research on Symmetrical Tension Control of Silicon Ingot Wire EDM

刘鹏、罗福源、孙凌云

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南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016

张力波动 双边张力控制 分时切换 PID控制

江苏省自然科学基金优秀青年基金南京市产学研后补助项目资助

BK20160084201722014

2021

机械与电子
中国机械工业联合会科技工作部 机械与电子杂志社

机械与电子

CSTPCD
影响因子：0.243
ISSN：1001-2257
年,卷(期)：2021.39(4)
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