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基于超粘聚酰亚胺涂胶工艺的研究
基于超粘聚酰亚胺涂胶工艺的研究
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中文摘要：
文章介绍了一种超粘聚酰亚胺的涂胶工艺研究方法,从其性能优势及应用再结合相应实验考察了聚酰亚胺光阻配方中喷胶速度、旋转时间、喷胶风速等因素对结果的影响,最终得到一种最佳工艺涂胶配方,实验采用20000cp聚酰亚胺光阻,8inch晶圆.
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作者：
朴勇男、李庆斌、蔺伟聪
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作者单位：
沈阳芯源微电子设备股份有限公司 辽宁·沈阳 110000
关键词：
超粘
聚酰亚胺
涂胶
光阻
出版年：
2022
科教导刊-电子版
科教导刊-电子版
影响因子：
0.032
ISSN：
1674-6813
年,卷(期)：
2022.
(5)
参考文献量
1
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