首页|蓝宝石雕刻:干法刻蚀辅助激光加工技术

蓝宝石雕刻:干法刻蚀辅助激光加工技术

扫码查看
原文链接
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普
Scribing of sapphire by dry-etching-asisted femtosecond laser fabrication

刘学青、陈岐岱、孙洪波

展开 >

清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京100084

吉林大学电子科学与工程学院,长春130012

2021

10.1360/TB-2020-1224

科学通报
中国科学院国家自然科学基金委员会

科学通报

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：1.269
ISSN：0023-074X
年,卷(期)：2021.66(7)
  • 1
  • 6