科学通报2024，Vol.69Issue(27) ：3995-3998.DOI:10.1360/TB-2024-0789

半导体性光刻胶及其在有机集成芯片中的应用

Semiconducting photoresist and its application in organic integrated chips

张申 刘云圻 魏大程
科学通报2024，Vol.69Issue(27) ：3995-3998.DOI:10.1360/TB-2024-0789
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半导体性光刻胶及其在有机集成芯片中的应用

Semiconducting photoresist and its application in organic integrated chips

张申 1刘云圻 2魏大程1
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作者信息

  • 1. 复旦大学高分子科学系,聚合物分子工程国家重点实验室,上海 200433;复旦大学分子材料与器件实验室,上海 200433
  • 2. 复旦大学分子材料与器件实验室,上海 200433;中国科学院化学研究所,北京 100190
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出版年

2024
科学通报
中国科学院国家自然科学基金委员会

科学通报

CSTPCD北大核心
影响因子：1.269
ISSN：0023-074X
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