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半导体性光刻胶及其在有机集成芯片中的应用

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Semiconducting photoresist and its application in organic integrated chips

张申、刘云圻、魏大程

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复旦大学高分子科学系,聚合物分子工程国家重点实验室,上海 200433

复旦大学分子材料与器件实验室,上海 200433

中国科学院化学研究所,北京 100190

2024

科学通报
中国科学院国家自然科学基金委员会

科学通报

CSTPCD北大核心
影响因子:1.269
ISSN:0023-074X
年,卷(期):2024.69(27)